納米壓痕儀是一種用于微納米尺度材料力學性能測試的高精度儀器，它通過記錄載荷與壓入深度的關系，能夠測量硬度、彈性模量、斷裂韌性等多種力學參數，廣泛應用于半導體、涂層、生物材料等領域的研發與質量控制。

技術原理：

深度敏感壓痕技術?，通過金剛石壓頭對樣品施加可控載荷，并同步高精度測量壓入深度，生成載荷-位移曲線，進而基于力學模型計算性能參數。

符合標準：

ISO 14577-1:2015 金屬材料.硬度和材料參數的儀器壓痕試驗.第1部分:試驗方法

ISO 14577-2:2015 金屬材料.硬度和材料參數的儀器壓痕試驗.第2部分:試驗機的檢定和校準

ISO 14577-3:2015 金屬材料.硬度和材料參數的儀器壓痕試驗.第3部分:硬度標準塊的校準

ASTM E2546-2023 儀器壓痕試驗的標準實施規程

技術參數：

1.靜態加載模式最大加載載荷：80mN /400mN/1800mN/4800mN

2.動態加載模式DMA：0.1-100Hz

3.載荷分辨率：3nN

4.可實現的最小載荷：0.1mN

5.加載速率：0.04-12000mN/min

6.最大壓入深度(電容傳感器)： 250μm/1mm

7.位移分辨率：0.0003nm

8.快速壓痕功能：做100個mapping點只需5分鐘

9.熱飄逸<0.05nm/s(室溫條件下)

應用領域：

半導體與微電子?：

用于評估芯片中薄膜的硬度、彈性模量，以及銅柱凸點等互連結構的界面結合強度。?

涂層與表面工程?：

檢測類金剛石涂層、PVD/CVD鍍層等硬質或裝飾性涂層的硬度、耐磨性及膜基結合力。?

生物與醫用材料?：

表征骨組織、牙釉質、水凝膠、植入材料等軟組織和生物材料的局部力學性能，部分儀器專為液體環境中的生物樣品測試設計。?

航空航天與汽車?：

評估陶瓷基復合材料、高溫合金、剎車片涂層等關鍵部件的力學性能。?

新材料研發?：

用于納米復合材料、高分子聚合物、MEMS器件等新型材料的性能研究。?